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1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐以硅碳棒為發(fā)熱元件；雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)；高純氧化鋁纖維真空吸附一次成型；高密度硅碳棒真空擠壓成型；剛玉管外徑為60、80mm。三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制且都為PID30段程序化控溫?？赏ㄟ^調(diào)節(jié)三個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場形成一溫度梯度，爐管兩端裝有不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表